基于压电晶体的微质量检测系统研究进展 

武威 
广东白云学院 机电工程学院，广东 广州 510450 
 

摘 要：压电晶体传感器利用压电石英晶体振荡频率对晶体表面质量负载和表面性状的高度敏感性，来实现对物质微质量的检测。介绍了压电晶体传感器的原理，给出了检测系统的硬件组成及数据处理与分析软件设计，分析了其应用现状，并对该检测系统的发展趋势进行了展望。
关键词：压电晶体传感器；微质量；检测系统
中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1007-3175(2013)12-0005-05

Research Evolution on Micro-Quality Detection System Based on Piezoelectric Crystal 

WU Wei 
Electro-Mechanical School, Guangdong Baiyun University, Guangzhou 510450, China 
 

Abstract: The piezoelectric crystal sensors used the characteristic that the oscillation frequency of the piezoelectric crystal is highly sensitive to the load and properties on crystal surface, such as density, viscosity, conductivity and dielectric constant to carry out materials micro-quality test. Introduction was made to the principle of the piezoelectric crystal sensors. This paper designed the hardware composition, data processing and analysis software of the detection system and analyzed the system’s application actuality, looking forward to the development trend of the detection system.
        Key words: piezoelectric crystal sensor; micro-quality; detection system

参考文献
[1] Yeolho Lee, Lim Geunbae, Wonkyu Moon.A Piezoelectric Micro-Cantilever Bio-Sensor Using the Mass-Micro-Balancing Technique with Self-Excitation[C]//The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005.
[2] Mortet V, Petersen R, Haenena K, et al. Piezoelectric Bimorph Micro-Cantilever：A New Gas Pressure Sensor[C]//2005 IEEE Ultrasonics Symposium, 2005.
[3] 吴晓娟，刘波，张桢，等.一种频差检测系统在电化学中的应用[J].仪表技术与传感器，2000(11)：13-14.
[4] 刘盛平，陈国明，周奇，等.多通道压电禽流感快速检测系统及应用研究[J].仪器仪表学报，2008，29(8)：1583-1587.
[5] 王磊磊，万辉，曾庆音，等.基于压电晶体传感器阵列技术的智能分析仪[J].分析科学学报，2001，17(3)：235-238.
[6] 俞凡，殷玮，许华胜，等.石英谐振靶基因组合检测仪振荡电路的研究[J].第三军医大学学报，2002，24(1)：6-7.
[7] 张剑锋，马希直，张优云.石英晶体微天平传感器在油品黏度中的应用研究[J].西安交通大学学报，2002，36(5)：511-514.
[8] 张波，府伟灵，蒋天伦，等.压电石英晶体传感器液相检测的影响因素[J].第三军医大学学报，2002，24(1)：8-11.
[9] 毛军刚，曾庆音，周晓东，等.便携式智能多道石英晶体微天平的研制与应用[J].分析化学，2003，31(2)：245-248.
[10] 熊兴良，王翔，李苑，等.石英晶体微天平的测量仪的研究及应用[J].分析化学，2005，33(12)：1803-1806.
[11] 吕家云，周晓峰，张健，等.涂敷ZnO纳米线的石英晶体微天平的湿度敏感特性[J].功能材料与器件学报，2008，14(3)：645-650.
[12] 刘峰伟.压电生物传感器及其采集分析系统的研究[D].重庆：重庆大学，2008.
[13] 高燕，熊焰，李京文.压电免疫传感器的实现[J].传感器世界，2008，14(5)：16-18.
[14] Chou F F, Chang H W, Li T L, Shih J S. Piezoelectric Crystal/Surface Acoustic Wave Biosensors Based on Fullerene C60 and Enzymes/Antibodies/Proteins[J].Chemical Society, 2008，5(1)：1-15.
[15] 王久才，蒋海峰，张培仁.基于频谱分析的QCM信号采集系统[J].仪表技术与传感器，2006(2)：23-24. 
[16] 锁斌.阻抗法石英晶体液体黏度测量系统[D].天津：天津大学，2007.